BBIN优睿谱完成数千万元Pre-A轮融资聚焦半导体前道量测设备

　　BBIN bbinBBIN bbinBBIN bbin集微网消息，近日，上海优睿谱半导体设备有限公司（以下简称“优睿谱”）宣布完成数千万元Pre-A轮融资，由弘卓资本领投，银珠资本、南京信达诚惠及合肥众余等跟投。

　　优睿谱成立于2021年，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。2022年6月初，优睿谱首台半导体专用FTIR（傅立叶变换红外光谱）测量设备Eos200交付客户，这是国内半导体量测设备公司首次实现FTIR设备交付。

　　据悉，优睿谱FTIR采用模块化设计理念，在核心部件、整机、软件等方面均进行大幅创新设计，使得整机测量性能在达到国外竞品同等水平情况下，大幅降低使用及维护成本。

　　FTIR是利用傅立叶变换红外光谱学作为一种非破坏性且高灵敏度的分析技术，可与各类超高真空设备或特制腔体联接使用，用于测量各种外延层、光刻胶厚度及工艺制程中元素浓度。

　　8月23日，优睿谱半导体设备（无锡）有限公司注册成功进入建设阶段。该项目由长期从事半导体行业的海归博士领衔，协同国内半导体前道制程量测设备技术团队共同发起成立，致力于打造高品质半导体前道量测设备。（校对/赵碧莹）