BBIN BBIN宝盈Park Wafer - Overview Park Atomic Force Microscope

　　Park NX-Wafer是业界领先的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及CMP轮廓测量。Park NX-Wafer具有最高的纳米级表面分辨率和亚埃级的高精度。在持续扫描后，探针针尖的变化可以忽略不计，仍具有高超的针尖锐度保护力。

　　Park NX-Wafer以其独特的自动系统功能而崭露头角，成为目前业界最先进的半导体AFM工具。该自动系统包括自动探针更换、实时监控、无参考标记的目标定位和自动分析。