学习BBIN：稀缺程度堪比光刻胶的半导体材料——光掩膜版

　　光学掩模板，又称光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩BBIN bbin膜版、光罩等，在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构，是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版。

　　光掩模板应用十分广BBIN bbin泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用光掩模板，主要用于集成电路（IC）、平板显示器（FPD）、印刷电路板（PCB）、微机电系统（MEMS）等领域。

　　光掩膜，又称光罩，是半导体支撑产业中的一环。光掩模中包含集成电路的图案，随着晶体管变得越来越小，光掩模的制造变得越来越复杂，以便将图案精确地转移到硅晶片上。

　　掩模版是显示屏生产过程中必不可少的材料，是一种高价值生产耗材，目前国内掩膜版行业没有形成完整的产业链，国产化率低。

　　国内独家研发生产G8.5代光掩膜基板，打破了长期以来国外垄断。2020年，上海石创在合肥设立了合肥光微光电科技有限公司，拟从事光掩膜基板精加工业务，为TFT-LCD和IC用光掩膜版的国产化提供支撑。

　　2008 年，清 溢光电投产国内第一张 5 代 TFT-LCD 用掩膜版，打破了我国 中大尺寸掩膜版依赖进口的局面；2014 年研制出国内第一 张 8 代掩膜版；2016 年 10 月成功研制 AMOLED 用高精度掩 膜版，成为全球第 6 家具备 AMOLED 用高精度掩膜版生产能 力的商用厂家，打破了国内 AMOLED 用高精度掩膜版完全依 赖国外进口的局面，目前已正式给多家国内面板企业供货。

　　近日，合肥清溢光电有限公司举行8.5代及以下高精度掩膜版项目量产启动仪式。该项目的顺利量产将大幅提高8.5代及以下高精度掩模版的国内产能，为新型显示面板企业提供强有力的本地化支持和配套服务。

　　公司拥有国内首条G11高世代掩膜版生产线年在国内首次实现G TFT掩膜版投产，开启我国超高世代掩膜版自主供应的新篇章。在成都路维高世代掩膜版生产基地建成后，公司成为国内唯一一家可以全面配套不同世代面板产线）的本土掩膜版企业。此外，公司在高世代高精度半BBIN bbin色调掩膜版领域打破国外技术垄断，实现全世代产品的量产。公司的半色调掩膜版产品荣获中国电子材料行业协会和中国光学光电子行业协会液晶分会联合授予的“2020年中国新型显示行业产业链发展贡献奖之创新突破奖”。

　　在平板显示领域，公司的主要客户包括京东方、华星光电、中电熊猫、天马微电子、惠科、信利、上海仪电、龙腾光电等；在半导体领域，公司的主要客户包括国内某些领先芯片公司及其配套供应商、士兰微、晶方科技、华天科技、通富微电、三安光电、光迅科技等。

　　近日，嘉兴南湖政府网站披露，张汝京博士作为项目领衔人及其团队等出席总投资30亿元的光罩材料产业链项目签约仪式。